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平板型等离子增强化学气相淀积系统(PECVD)
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  北京七星华电科技集团依托在国内电子设备行业的综合优势地位,进行创新突破。形成了以8″-12″氧化扩散炉、质量流量计、清洗机、太阳能电池设备、TFT制造设备、锂离子电池设备等为主的产品布局。 

  今后,北京七星华电科技集团将通过12英寸立式扩散/氧化系统产业化、单片清洗机、12″及12″以下半导体用质量流量控制器MFC产业化项目的实施,实现300mm晶圆工艺技术装备的产业化目标。通过TFT-LCD生产制造设备(搬运、清洗)项目的实施,加快完成第五代TFT-LCD生产线制造关键装备的产业化目标。通过发展太阳能电池制造设备(清洗机、扩散炉、刻蚀机、PECVD、单晶炉),实现装备产业化目标。同时,加大锂离子电池设备研发,实现自主研发,拥有自主知识产权。 

  展望未来,北京七星华电科技集团将着力实施“一个基地,两个中心”(中国微电子设备制造基地,建设一流的研发中心和一流的零部件精密加工中心)的战略,致力于打造成国际知名的电子专用设备制造商而努力。
 

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